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长春理工大学本科毕业设计 PAGE II 小尺寸间隙的高精度测量系统设计 Design of high precision measurement system for small size gap PAGE III 摘 要 本文设计了线阵CCD测量系统，并对测量系统进行了分析。采用线阵CCD对小间隙进行高精度测量。通过对线阵CCD测量装置的系统分析，确定了光学分系统的组成。采用基于单片机的硬件计数方法和基于数据采集的软件方法对小间隙进行标定和测量。在硬件计算方法中,二进制处理方法用于确定测量边缘线阵CCD的输出信号,在基于数据采集的软件方法,多项式最小二乘法和RBF神经网络用于收