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一种晶圆检测设备的基准值修正装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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一种晶圆检测设备的基准值修正装置及方法.pdf

    本发明提供了一种晶圆检测设备的基准值修正装置及方法，包括:安装台，用于安装校准芯片样本；激光光源，设置在安装台侧面，用于发射激光至校准芯片样本表面；至少一个校准装置，用于接收经校准芯片样本表面散射的激光信号，获取测量值，并与基准值进行比较得到修正值，输出修正命令，晶圆检测设备根据修正命令完成基准值的自动修正。本发明提处的方案能够减少采用额外标准晶圆进行值修正所产生的费用，并且能够减少作业者的作业时间，同时该基准值修正装置能够定期对检测设备基准值自动修正，减少测量误差。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116337888 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202111596923.4 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 成都高真科技有限公司 地址 61

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