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本发明提供一种NMO氧化物半导体材料及其制备方法和应用,该材料包括NiO和掺杂金属氧化物成分,化学式为Ni(1‑x)MxO(1±δ),其中,x为NiO晶格中Ni原子被掺杂金属原子取代的比例,δ为NiO晶格中氧含量的调节参数,0
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116332623 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202310306962.9 C23C 14/08 (2006.01)
(22)申请日 2023.03.
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