研磨装置、显示面板及基板的制造方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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研磨装置、显示面板及基板的制造方法.pdf

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第一，以改善研磨的作业性、实现研磨品质的提高、实现小型化为目的，第二，改善片部件的密合性。研磨装置(20)具备:研磨部(23)，其与基板11)的被研磨面17)的一部分接触；驱动部(24)，其安装在研磨部(23)上并驱动研磨部(23)，使研磨部(23)沿着被研磨面17位移；保持部(25)，其安装在驱动部(24)上并保持驱动部(24)；支承部(22)，其至少一部分被载置在基板(11)的被研磨面(17)中与接触研磨部(23)的部分不同的部分上，介于基板(11)与保持部(25)之间并支承保持部(25)。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116330150 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202211468294.1 (22)申请日 2022.11.22 (30)优先权数据