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一种MOCVD反应腔室清扫装置及其清扫方法.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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一种MOCVD反应腔室清扫装置及其清扫方法.pdf

    本发明提供一种应用于MOCVD技术领域的MOCVD反应腔室清扫装置，本发明还涉及一种MOCVD反应腔室清扫方法，所述的MOCVD反应腔室清扫装置的每个擦拭部件Ⅰ(3)包括上部支撑件(4)和下部支撑件(5)，每个擦拭部件Ⅰ(3)外侧分别设置擦拭件Ⅰ(6)，上部支撑件(4)和下部支撑件(5)通过金属轴(7)活动连接，上部支撑件(4)上端活动连接支撑部件(2)，下部支撑件(5)下端活动连接承载部件(1)，支撑部件(2)上表面设置擦拭件Ⅱ(8)，本发明所述的MOCVD反应腔室清扫装置及清扫方法，在不打开

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113652671 B (45)授权公告日 2023.04.14 (21)申请号 202110936551.9 (51)Int.Cl.

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