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静电卡盘系统及半导体处理设备.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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静电卡盘系统及半导体处理设备.pdf

    本发明公开了一种静电卡盘系统及半导体处理设备，静电卡盘系统包括：能够相对反应腔的底壁进行上下移动的静电卡盘，以及分别与静电卡盘连接的射频功率源和直流电源，静电卡盘与射频功率源和直流电源之间分别形成有射频通路和直流通路；相互连接的第一射频阻挡部和第二射频阻挡部；第一射频阻挡部位于直流通路上，并设置在静电卡盘上，且随静电卡盘相对反应腔的底壁上下移动，第一射频阻挡部用于限制射频通路中的射频电流耦合到直流通路上；第二射频阻挡部设置在反应腔的底壁上的开口处，开口用于直流通路与直流电源连接；第二射频阻挡部用

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344307 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202111596699.9 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 中微半导体设备（上海）股份有限公

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