薄膜材料与技术级真空技术基础.pptxVIP

薄膜材料与技术级真空技术基础;本课程讨论的对象：;本课程的研究内容;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;因此：P ? 时，气体稀薄化 ? 气体导热能力? ? Qg ? ? 相同灯丝电流下 Ql ? ? 热电偶温度 T ? ? 电压表上测得的热电势 V ? ? 特定气压范围内（102~10-1 Pa 间），成立： ！ ;工作原理： 1）由两组灯丝组成，一组灯丝置于密封定压空间内作为参 考，另一组与待测压腔体相通。 2）两组灯丝同时被视为两个电阻组成Wheatstone电桥。 3）两组灯丝同时被通电加热，若其所处环境压力不同（空 气稀薄程度不同）导致热耗散速度也不同，因而灯丝电 阻会因温度不同而产生差异，流过之电流随之改变。 4）因参考端气压固定，因而温度、电阻、流过电流不变， 借助其补偿作用可比对求出待测腔体内的气体压力。;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术