一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.39万字
约 15页
2023-06-29 发布于四川
举报
版权申诉

一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请实施例公开了一种对位标记的抓取方法及基板的对位方法，对位标记的抓取方法包括以下步骤：提供具有预设区域的基板，基板的预设区域设有对位标记；将预设区域划分为多个拍摄区域，任意两个相邻的拍摄区域之间部分重叠，任意两个相邻的拍摄区域之间重叠的部分的宽度大于或等于对位标记的宽度；采集多个拍摄区域的图像，从而获取基板的对位标记的图像。本申请的对位标记的抓取方法可以增加抓取对位标记的成功率，避免对位标记抓取失败而导致机台宕机的情况发生，降低了操作人员的工作量，有效提高了产能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113690162 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202110906906.X (22)申请日 2021.08.09 (71)申请人深圳