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本发明涉及一种质谱仪、质谱方法以及检测系统，其中，质谱仪包括：真空室，所述真空室的工作气压P的范围为0.1Pa≤P≤10Pa；线性离子阱，设置于所述真空室内，其中，所述线性离子阱的场半径r≤5mm；以及电源，配置为向所述线性离子阱提供射频电压，所述射频电压的频率f的范围为2MHz≤f≤10MHz。由于该真空度相对较低，因此，选用粗真空泵抽真空即可实现这一真空条件，粗真空泵相比较于传统应用线性离子阱的质谱仪通常选用的由涡轮分子泵和粗真空泵构成的组合泵机组，抽速更小，体积更小，且制造成本更低，因此，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113707532 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202010437734.1
(22)申请日 2020.05.21
(71)申请人 株式会社岛津制作所
地
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