原创力文档- 5
- 0
- 约8.78千字
- 约 11页
- 2023-07-01 发布于四川
- 举报
本申请是申请号：2019108101963，申请日：2019.8.29，发明名称：优化通孔层工艺窗口的辅助图形及方法的分案申请。本发明公开了一种优化通孔层工艺窗口的辅助图形，是适用于掩膜版中用于光学邻近效应修正，所述辅助图形为封闭的结构，还具有主图形位于所述辅助图形的中心区域，所述辅助图形位于主图形的外围，形成封闭的包围结构；所述辅助图形为至少两层的多层嵌套的封闭结构，其为SRAF图形，为封闭的多边形或者类似环形，至少包含有水平、垂直、45度、135度的边，各层结构之间具有一定的间距。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116360205 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202310333927.6
(22)申请日 2019.08.29
(62)分案原申请数据
201910810196.3
您可能关注的文档
- 一种图像处理方法、装置及电子设备.pdf
- 一种埃索美拉唑钠肠溶混悬剂及其制备方法和应用.pdf
- 一种远程数据安全加密方法.pdf
- 一种列车恒速控制方法、装置、轨道车辆及介质.pdf
- 一种用于石油井防井喷的压井管汇.pdf
- 一种用于MMC型变流器直流侧母线的电压控制方法.pdf
- 基于计算流体力学的骨骼肌自激活变形的数值仿真方法.pdf
- 结合鱼眼相机实现车端4D毫米波雷达SLAM处理的方法、装置、处理器及其存储介质.pdf
- 一种基于算法识别的视频平台无缝对接方法.pdf
- 一种激光剥离设备和可拉伸显示面板的激光剥离方法.pdf
- 八年级上册江西版《初中语文一遍过》课堂测(OCR).pdf
- 七年级上册人教版《初中语文一遍过》测评卷(OCR).pdf
- 七年级上册人教版《初中生物一遍过》试卷【教师用书】(OCR).pdf
- 七年级上册人教版《初中地理一遍过》教师版(OCR).pdf
- 九年级上册译林牛津版《初中英语一遍过》测评卷(OCR).pdf
- 九年级上册冀教版《初中英语一遍过》单元卷(OCR).pdf
- 七年级上册译林牛津版《初中英语一遍过》单元检测卷(OCR).pdf
- 七年级上册人教版《初中生物一遍过》【教师用书】(OCR).pdf
- 【横版】27张宇基础30讲做题本.pdf
- 七年级上册译林牛津版《初中英语一遍过》单元检测卷教用(OCR).pdf
文档评论（0）