一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法.pdf

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本发明公开了等离子增强化学气相沉积薄膜的辅助设备领域内的一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法，装置包括上盖组件、第一基体、雾化组件和快拆结构，所述上盖组件设置在第一基体上部，所述雾化组件与第一基体相对应设置，所述快拆结构通过第二基体与第一基体相连接，快拆结构的另一端与待雾化液体相连接；方法包括步骤：安装好雾化装置的各个部分；将雾化装置通过支撑爪支撑放置在真空腔体内的玻璃板上；将进液管和电线穿过真空腔体上的小孔和外界相连；向进液管的进口通入待雾化液体原料；接入电源，装置开始工作。本发明能够实现真

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113718236 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110870261.9 (22)申请日 2021.07.30 (71)申请人扬州大学地址 22