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- 2023-07-01 发布于四川
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本发明公开了一种有效机电耦合系数可调的超高频谐振器,其结构包括:沟槽,电极,压电薄膜;电极位于压电薄膜上表面。沟槽横截面为矩形、梯形、弧形中任一种,长度方向与电极长度方向一致,沟槽数目、宽度和深度据实际情况确定。沟槽可位于压电薄膜上表面或下表面或位于上下表面,若其位于压电薄膜上表面,则位于电极左右两侧;若其位于压电薄膜下表面,则位于电极正下方;若其位于压电薄膜上下表面,则上表面的沟槽位于电极左右两侧,下表面的沟槽位于电极正下方。刻蚀沟槽能够有效减小超高频谐振器的带宽,且可以通过改变沟槽的宽度和深
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113726307 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202110947614.0
(22)申请日 2021.08.18
(71)申请人 武汉大学
地址 43
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