一种大面阵柔性薄膜传感器及其全印刷制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.45万字
约 12页
2023-07-01 发布于四川
举报
版权申诉

一种大面阵柔性薄膜传感器及其全印刷制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种大面阵柔性薄膜传感器及其全印刷制备方法，涉及柔性传感器领域。该柔性传感器包括压阻传感器和压容传感器，传感器包括阵列读出电路和力敏层，力敏层沉积在阵列读出电路上，或力敏层与阵列电极之间设置镂空式绝缘间隔层对位贴合。阵列读出电路包括两个电极层和一个绝缘层，电极层为上方电极层和下方电极层，绝缘层在两个电极层之间。本发明的传感器采用“电极‑绝缘层‑电极”三层结构的阵列读出电路，降低了成本且避免了过孔工艺带来的虚焊、上升时间延长、电路速度降低等问题，同时可以使传感器的制备面积更大，使用范围

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113720501 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110957717.5 (22)申请日 2021.08.18 (71)申请人中国科学院重庆绿色智能技术研究