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本发明提供一种可用简便的构成防止污染物的附着的加热装置及焊料接合完毕对象物的制造方法。加热装置(1)具备：腔室(11)，收容对象物(W)；载台(13)，供载置对象物(W)，且该载台(13)将腔室(11)的内部空间(C)区分成下方区域(Ce)及上方区域(Cf)；加热部(15)，对载台(13)上的对象物(W)进行加热；以及气体供给装置(18)、(19)，将气体(Ge)、(F)供给到下部区域(Ce)。腔室(11)在上部区域(Cf)形成有流出口(11p)。载台13形成有间隙(D)，该间隙(D)使通过气体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113727799 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202080030838.9 (74)专利代理机构 北京戈程知识产权代理有限
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