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冷却装置、基板处理装置、冷却方法及基板处理方法.pdfVIP

冷却装置、基板处理装置、冷却方法及基板处理方法.pdf

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    本发明所涉及的冷却装置具备：流路，可使冷介质流通；凝结器，设置于所述流路；换热器，设置于所述流路；压缩机，设置于所述凝结器与所述换热器之间的所述流路；冷却器，冷却从所述凝结器流入所述换热器的所述冷介质；气体冷却部，向所述换热器供给气体，通过与所述冷介质之间的换热可冷却所述气体；第1温度计，可检测被冷却的所述气体的温度；第2温度计，可检测流入所述换热器的所述冷介质的温度；及第1控制部，通过所述冷却器可控制冷却流入所述换热器的所述冷介质的温度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113707574 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110550962.4 (22)申请日 2021.05.20 (30)优先权数据 2020-0878

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