一种研磨垫自动修正设备及其使用方法.pdfVIP

一种研磨垫自动修正设备及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种研磨垫自动修正设备及其使用方法,涉及液晶玻璃加工制造技术领域。在本发明中:施压环板与施压旋转盘之间设有若干圈水平推力滚子轴承环。径向固定轴杆上安装有若干与径向固定轴杆同轴心线的径向驱动体。修正设备的下部设有若干圈层分布的外修正环,中心定位杆的下端转动连接有内修正盘,中心定位杆上套设有位于施压旋转盘与内修正盘之间的中心驱动体。本发明在对研磨垫进行研磨修正时,在相同作用力下实现独立区域转动研磨,完成区域性研磨与整体性平坦度的配合,同时使外修正环向下的施压作用力更加均衡,提高了对研磨垫

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113714935 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110935809.3 (56)对比文件 (22)申请日 2021.08.16

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