一种自旋轨道转矩磁阻式随机存储器及其制造方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种自旋轨道转矩磁阻式随机存储器及其制造方法.pdf

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本申请提供了一种自旋轨道转矩磁阻式随机存储器及其制造方法，包括：铁电薄膜层，设置有两个金属电极，通过两个金属电极向铁电薄膜层施加第一电压；底电极，位于铁电薄膜层之上并设置于铁电薄膜层中部，呈长条形，在底电极两端施加第二电压；隧道结，位于底电极之上并设置于底电极中部；其中，两个金属电极相对设置在铁电薄膜层相对的两个边缘上，且两个边缘位于底电极长边方向的两侧，通过两个金属电极施加第一电压的方向与底电极短边方向平行；通过第一电压与第二电压的正负，控制磁化的定向翻转。从而在实现磁矩定向翻转的同时，利于器

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113707803 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110983622.0 (22)申请日 2021.08.25 (71)申请人中国科学院微电子研究所