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本发明涉及一种扫描光电流显微镜及测量方法，显微镜包括样品放置台、扫描机构、探针位置传感机构、光源、光功率计和摄像机；扫描机构包括探针和扫描头，扫描头与探针连接，扫描头设有压电管；探针位置传感机构包括激光发射器和光位移传感器；光源位于样品放置台的上方，光源所发出的光自上而下照向样品；能够实现完成对样品的表面形貌数据、表面电流数据、表面光电流数据的测量，光源自上而下的光照方式能够适用于不透光的样品，并且允许测试过程中对样品表面的光功率进行标定，从而实现了定量的光电流表征；具有多功能性、高泛用性的优点
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116359549 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202310508755.1
(22)申请日 2023.05.08
(71)申请人 苏州标度量子科技有限公司
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