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第 第 PAGE 1 页 共 NUMPAGES 1 页 充分这些条件来选购真空泵 真空泵如何操作 1、真空泵的工作压强应当充分真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110—5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510—6mmHg。 1、真空泵的工作压强应当充分真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110—5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510—6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有确定的工作压强范围，如：扩散泵为10—3～10—7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的