一种循环加热搅拌化学镀装置及方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种循环加热搅拌化学镀装置及方法.pdf

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本发明公开了一种循环加热搅拌化学镀装置及方法，涉及化学镀技术领域，反应箱内两侧分别为反应区和回液区；支撑座位于反应区内，其顶部开设有均布室，隔板将回液区分隔为位于上方的导流区和位于下方的匀液区；隔板上于远离反应区设开口，匀液区、吸液管、循环泵、上液管和均布室、反应区及回液区依次连通。本发明的镀液在循环泵的作用下于镀液通道内单向循环流动，并于反应区内始终同向由工件的各孔内均匀流过，不仅能使镀液与镀件表面持续地充分、均匀接触，还能以镀液的流动力带动化学镀反应产生的副产物由孔内流出，避免副产物积存孔内

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116356297 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202310309031.4 (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人合肥迈微新材料技术有限公司地址