固晶机及固晶机摆臂.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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本申请提供了一种固晶机及固晶机摆臂，包括用于连接固晶机本体的安装座、通过弹性连接结构可活动地连接在安装座上的摆臂本体，固晶机摆臂还包括电控施力装置，电控施力装置用于对摆臂本体施力以使摆臂本体的第一端沿第一方向运动。相比于传统的固晶机摆臂，本申请的固晶机摆臂不需人工手动调节摆臂本体上的作用力，使调节摆臂本体对固晶晶片压力的操作更加简单，控制更加方便。在固晶机摆臂转运固晶晶片时，还可控制电控施力装置增大对摆臂本体的作用力，提高摆臂本体与安装座的连接刚性，减小固晶机摆臂的振动，避免固晶晶片掉落，从而提

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113725122 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110914507.8 H01L 21/683 (2006.01) (22)申请日 2021.0