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本发明提供一种压力控制装置，包括控流组件、套筒、反冲组件、入流通道和出流通道，控流组件包括活塞、弹性件和控制件，套筒的底部开口与入流通道的出流口连通，套筒的侧壁上形成有将套筒的内部与出流通道连通的连通孔，控制件通过弹性件与活塞连接，用于通过弹性件驱动活塞在套筒中运动；套筒的侧壁上还开设有多个贯穿孔，反冲组件包括第一进气管路，第一进气管路与多个贯穿孔连通，用于向活塞与套筒的内壁之间通入第一预设压力保护气体。本发明提供的压力控制装置能够在实现稳定控制工艺腔室压力的同时延长压力控制装置的使用寿命。本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116364605 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202310315772.3
(22)申请日 2023.03.28
(71)申请人 北京七星华创流量计有限公司
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