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本发明公开了一种薄膜一氧化氮传感器及制备方法，制备方法包括：将水溶性锌盐与水混匀得到A溶液；将2‑甲基咪唑、CTAB和水混匀得到B溶液；将A溶液与B溶液混匀得到反应液，水热反应得到MOFs材料；反应液中，CTAB的质量分数为0.01‑0.1％；将MOFs材料煅烧得到氧化锌纳米材料，溶解在松油醇中，搅拌后得到浆料，加至硅片上，然后进行匀胶，匀胶结束后干燥、退火得到退火器件；将退火器件进行焊接、封装得到所述薄膜一氧化氮传感器。本发明中采用表面活性剂(CTAB)控制MOFs粒子的形状和大小，使气体传感
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116359290 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202310318819.1
(22)申请日 2023.03.28
(71)申请人 安徽元琛材料研究设计院有限公司
地
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