钝化增强的图像传感器和表面钝化方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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钝化增强的图像传感器和表面钝化方法.pdf

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提供了一种钝化增强的图像传感器和一种表面钝化方法。该图像传感器包括半导体衬底和多层膜。半导体衬底包括光电二极管和后表面，后表面具有围绕光电二极管的凹陷区域。多层膜在凹陷区域上并且与凹陷区域共形，并且包括相邻高κ材料层的N层组。N层组的同一层组的每对相邻高κ材料层包括(i)具有外部固定电荷密度的外层，和(ii)位于外层与凹陷区域之间的具有内部固定电荷密度的内层。外部固定电荷密度和内部固定电荷密度中的每一个是负的。内部固定电荷密度的负值度大于外部固定电荷密度的负值度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116364733 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202211513664.9 (22)申请日 2022.11.29 (30)优先权数据 17/562,577 2021