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- 2023-07-01 发布于四川
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本发明公开了一种半导体电性能参数检测系统，属于半导体器件性能测试技术领域，该检测系统包括用于对半导体器件的对应各项电性能参数进行检测的电性能参数测试单元，用于发出报警信息的报警单元，用于对数据存储单元中的数据进行分析，以获取过去生产的若干个样本半导体的可靠系数μ的控制器；本发明通过对可靠系数μ进行实时监控实现对生产中的半导体器件的质量的监控，在产品的可靠性出现连续的下降时，及时的对工作人员进行提示，提示工作人员对生产流程以及生产设备、生产原材料等可能影响半导体器件质量的因素进行检查，从而及时的解
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116359700 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202310333488.9
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 安徽信诺达微电子有限公司
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