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2023-07-01 发布于四川
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真空处理装置.pdf

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本发明提供一种使处理效率提高的真空处理装置。所述真空处理装置具备：推杆臂，其配置于所述锁定室内，并在与所述真空搬运机器人之间接受所述晶片并将所述晶片支承在梁部上或者传递在所述梁部上支承的所述晶片；以及冷却板，其配置在所述锁定室内的底部，并对从移动到下方的所述推杆臂的梁部传递而载置于多个支承销的前端上的所述晶片进行冷却，所述推杆臂具有驱动部和四个推杆销，四个所述推杆销在沿水平方向延伸的梁部上载置的所述晶片的中心的周围的四个部位由前端支承该晶片，所述驱动部与所述根部连结并使所述梁部在上下方向上移动，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113728422 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202080005017.X (51)Int.Cl.