化合物、产酸剂、组合物、固化物及图案以及固化物及图案的制造方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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化合物、产酸剂、组合物、固化物及图案以及固化物及图案的制造方法.pdf

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本发明的目的在于提供产酸灵敏度优异的化合物。本发明为下述通式(A)所表示的化合物。(式中，R11及R20分别独立地表示氢原子、碳原子数1～20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等、或者R11及R20键合而表示直接键合、‑S‑等，R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、R19及R20中的1个以上为上述通式(1)所表示的基团，R1表示碳原子数1～20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等，R2表示氢原子、碳原子数1～20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等。)

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113727967 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202080030306.5 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公