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液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法.pdfVIP

液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法.pdf

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本发明公开了液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法,涉及TFT‑LCD玻璃深加工技术领域。在本发明中:平坦度辅助检测装置包括检测长条本体和外控盒,外控盒位于检测长条本体的一侧端,检测长条本体的另一端设置有端侧对径安装板,端侧对径安装板的外侧端面嵌入安装有对径传感条;检测长条本体的下侧面嵌入安装有边侧可见光定位器和若干依次排列的光电距离传感探头;检测长条本体的上侧面固定设置有一组吸附块,检测长条本体的上侧面嵌入安装有位于两个吸附块之间的水平检测机构。本发明实现了小体积化、无外置连接线式的研

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113701674 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110861503.8 (22)申请日 2021.07.29 (71)申请人 蚌埠高华电子股份有限公司

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