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本发明的质量流量控制器以及波动抑制方法将PID常数与仪表装配环境相匹配而抑制波动,该质量流量控制器具备:阀门驱动电路(9),其将与操作量相应的驱动电流输出到阀门(3);PID控制部(4),其将流量设定值和流量测量值作为输入而算出操作量;存储部(5),其针对每个流量设定值存储PID常数;PID常数设定部(6),其当流量设定值已变更时,从存储部获取与变更后的流量设定值对应的PID常数,并将其设定于PID控制部;波动检测部(7),其判定流量测量值是否发生波动;以及PID常数变更部(8),其当检测出波动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113721672 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202110570130.9
(22)申请日 2021.05.25
(30)优先权数据
2020-0912
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