原创力文档- 4
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- 2023-07-02 发布于四川
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本发明提供一种探针卡清理装置，探针卡清理装置包括具有沿竖向开口的腔体，所述腔体的开口用于承载探针卡；真空管，其与所述腔体连通，所述真空管的第一端用于对准所述探针卡的针尖，所述真空管的第二端外接一抽真空设备。如此配置，可通过真空管以及与真空管连接的抽真空设备将探针卡的针尖上附着的颗粒物抽吸走，相较于现有技术的毛刷清理方式，本发明通过抽吸方式取得的清理效果更佳，颗粒通过真空管排出，可以避免晶圆测试区域环境的污染；由于与探针卡没有直接接触，也避免了探针卡被损坏。此外，本发明的腔体可以使得少部分未进入真
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113714207 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111006799.1
(22)申请日 2021.08.30
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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