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一种用于二维材料微纳米器件制备的多功能系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种用于二维材料微纳米器件制备的多功能系统及方法.pdf

    本申请提供一种用于二维材料微纳米器件制备的多功能系统及方法，该多功能系统包括安装固定底座、位移模块、多功能转换模块、基底固定旋转模块。其中，安装固定底座能够固定支撑整个多功能系统。位移模块可以独立地沿X、Y、Z三个方向线性移动，方便实现二维晶体材料样品与基底之间的定位和对准操作。多功能转换模块仅在更换多功能转换片的情况下，实现了二维晶体材料转移和金属电极淀积之间的功能切换。基底固定旋转模块不仅可以固定基底，还可以进行旋转操作，调整二维晶体材料或者金属淀积用掩模版与基底之间的相对角度，使该系统在材

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113716520 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111009419.X (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人 电子科技大学 地址

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