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一种基于大气机械手的垂直行程增程机构.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种基于大气机械手的垂直行程增程机构.pdf

    本发明属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种基于大气机械手的垂直行程增程机构。包括底座单元、支撑单元、传动组件单元及升降滑座单元，其中支撑单元和传动组件单元均设置于底座单元上，支撑单元用于支撑传动组件单元，升降滑座单元与传动组件单元连接，传动组件单元为升降滑座单元提供升降动力，升降滑座单元用于安装负载机器人。本发明将导轨异面布置，在不增加整体尺寸的基础上得到了两个跨距方向的刚性支撑；应用导轨压紧机构，极大的增强了导轨局部的刚性，同时又保证了较小的安装尺寸，使得机构在设备机台中的适配更加方便。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116352690 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202310637770.6 (22)申请日 2023.06.01 (71)申请人 沈阳芯达科技有限公司 地址 11

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