一种金属刻蚀中陶瓷介质窗匀温装置、金属刻蚀系统.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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一种金属刻蚀中陶瓷介质窗匀温装置、金属刻蚀系统.pdf

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本实用新型公开了一种金属刻蚀中陶瓷介质窗匀温装置，匀温装置包括散热装置、聚流道、引流道和紧固件；散热装置安装在屏蔽罩内，用于产生冷却介质；聚流道竖直安装在屏蔽罩正下方，其沿延伸方向具有第一端部和第二端部，第一端部与散热装置装置，第二端部与引流道连接，聚流道和引流道共同构成冷却介质的传输通道；引流道平铺在铜螺旋管和陶瓷介质窗之间，且铜螺旋管和陶瓷介质窗通过紧固件固定连接。本实用新型能够将散热装置产生的冷却介质引至陶瓷介质窗中心后再逐渐向四周扩散，达到了良好的匀温效果；并且整体结构简单，经过测试有效

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219286335 U (45)授权公告日 2023.06.30 (21)申请号 202220514523.8 (22)申请日 2022.03.09 (73)专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司地址