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一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器.pdf

    本发明公开了一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器，该制作工艺包括以下步骤：通过预先配置的多组溶液混合制得带有羧基、羟基的石墨烯量子点；选择可以对特定气体分子具有响应能力的官能团分子；将所述官能团分子与带有羧基、羟基的石墨烯量子点进行嫁接，并制备出带指定官能团的石墨烯量子点；通过预先配置的材料进行叉指电极的制备；将所述带指定官能团的石墨烯量子点滴在带有所述叉指电极的硅片上形成一层薄膜覆盖于电极之上。有益效果：本发明既保留了石墨烯量子点优异的导电性能，又能发挥官能团对气体分子的特异性响应以及可以制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113740382 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111040882.0 (22)申请日 2021.09.06 (71)申请人 奥维尔斯智能科技（苏州）有限公司

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