1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

具有稳定频率功能的体声波谐振器.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.39万字
  • 约 24页
  • 2023-07-02 发布于四川
  • 举报

具有稳定频率功能的体声波谐振器.pdf

    本发明提供了一种具有稳定频率功能的体声波谐振器，通过形成温度补偿层以实现对温度频率系数的优化，且空腔谐振区域只有多层薄膜构成的谐振结构，而引出电极及通孔等结构均远离空腔，可以避免产生杂波。本发明在形成空腔结构时，无需引入牺牲层就可引入带温度补偿层的压电薄膜体声波谐振器结构，采用本发明的体声波谐振器结构无需复杂的背面工艺及精确对准过程，可以得到具有温度补偿特性的高频率、高耦合系数且高Q的谐振器。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113746446 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111043759.4 (22)申请日 2021.09.07 (71)申请人 上海集成电路材料研究院有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >