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为高粘度流体优化的压电微滴沉积设备及方法和控制系统.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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为高粘度流体优化的压电微滴沉积设备及方法和控制系统.pdf

    一种微滴沉积设备包括微滴沉积头、流体供应部和控制器，其中：微滴沉积头包括各自有喷嘴的一个或更多个流体室、有进入头的流体入口且终于一个或更多个喷嘴的流体入口路径及始于一个或更多个喷嘴且终于头的流体返回部的流体返回路径；每个流体室包括两个相对室壁，其包括压电材料且在施加电驱动信号时可变形以从喷嘴喷射微滴；流体供应部被配置成以根据流体入口和流体返回部之间测量的压差向流体入口供应流体；且控制器被配置成向压电室壁施加驱动信号使得一个或更多个喷嘴在20℃和90℃之间的喷出温度沉积具有在45mPa·s至130

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113748025 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202080031344.2 (74)专利代理机构 北京安信方达知识产权代理

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