一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统.pdfVIP

下载本文档

3
0
约1.41万字
约 18页
2023-07-02 发布于四川
举报
版权申诉

一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请公开了一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，涉及晶圆清洗的技术领域，其包括用于提供高纯超临界二氧化碳的供气部，所述供气部的出气侧连通设置有用于晶圆进行清洗的处理器，所述处理器远离供气侧连通设置有尾气排放管，所述尾气排放管远离处理器一侧连通设置有用于分离高纯超临界二氧化碳的尾气处理装置，所述尾气处理装置包括恒温水箱以及压力分离器，所述恒温水箱与尾气排放管相连通，所述压力分离器与恒温水箱相连通，所述尾气处理装置连通设置有回收精馏二氧化碳的通气管。本申请能够利用超临界二氧化碳完成对

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115401030 A (43)申请公布日 2022.11.29 (21)申请号 202211074352.2 (22)申请日 2022.09.03 (71)申请人福建久策气体股份有限公司地址 3