原创力文档- 0
- 0
- 约7.2千字
- 约 12页
- 2023-07-02 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种基于电容法的柔性空心球型粗糙度测头，包括柔性空心球体、柔性电极板；柔性电极板设置在空心球体的表面上，柔性电极板与电容测试仪器电连接。本发明中采用柔性电极板制作传感器极板，并设置虚地层，在使用自平衡桥原理的商用仪器来测试电容值时，可以控制寄生电容的影响，提高电容值测试精度；采用柔性空心球体来按压测头电极贴合被测工件，由于性空心球体在接触按压的过程中，存在中心鼓翘的特点，因此存在最佳贴合情况，通过仪器自动记录判断接触过程中，最佳贴合情况的电容值，可以最大保证标定操作与实际测量操作过程
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113739693 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111039361.3
(22)申请日 2021.09.06
(71)申请人 中国工程物理研究院总体工程研究
文档评论（0）