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本发明公开了一种用于使用改进的制作条件和周界结构修改的声谐振器或滤波器设备的结构和制造方法。在一个示例中，本方法可以包括形成具有不同几何区域和轮廓形状的金属电极，这些金属电极联接到衬底上面的压电层。这些金属电极还可以形成在具有变化几何区域的压电层或衬底的空腔内。结合具体的维度比例和离子注入，这类技术可以提高设备性能指标。在一个示例中，本方法可以包括形成围绕金属电极的各种类型的周界结构，该金属电极可以在压电层的顶部或底部。这些周界结构可以使用对形状、材料和连续性的多种修改的各种组合。这些周界结构还
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108023569 A
(43)申请公布日
2018.05.11
(21)申请号 20171
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