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本发明属于公开了一种新型微流量气体质量流量控制器,包括流量计本体,所述流量计本体的顶壁连接有电源接口,所述流量计本体的背部安装有信号收发器,所述流量计本体的侧壁由上至下依次连接有串口和阀门接口,所述阀门接口靠近流量计本体的外圆周壁连接有微流量控制组件,所述微流量控制组件包括立筒,具体涉及新型气体质量流量控制器技术领域。该新型微流量气体质量流量控制器,通过设置有微流量控制组件,由于丝杠与轴承转动连接,且球体通过导杆与套筒连接,套筒套设在丝杠外部,故在电机驱动时,丝杠会受电机影响有转动的趋势,此时球
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113741558 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202110870440.2
(22)申请日 2021.07.30
(71)申请人 武汉奥智博科技有限公司
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