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一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法.pdf

    本发明提供了一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法，其中，用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备包括处理槽、晶圆夹具以及驱动装置；处理槽内注入有工艺液体；晶圆夹具用于夹持晶圆片，晶圆夹具可在驱动装置的驱动下带动晶圆片浸入处理槽的工艺液体内；晶圆片可在驱动装置的控制下摆动至与工艺液体液面呈角度并旋转。本发明提供的用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法，利用工艺液体的粘度，通过晶圆片的旋转带动工艺液体充满内凹区，并通过晶圆片摆动至与工艺液体液面呈一定角度达到向上排气的效果，确保了晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113714188 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111077679.0 B08B 13/00 (2006.01) (22)申请日 2

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