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本发明公开了一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：团簇离子加速装置，所述团簇离子加速装置包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV；第一飞行通道，所述第一飞行通道与团簇离子加速装置的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道内自由飞行。本发明通过设置团簇离子加速装置，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113758990 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202111004489.6
(22)申请日 2021.08.30
(71)申请人 北京航空航天大学合肥创新研究院
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