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本发明实施例提供一种预测机台加工事件发生的方法，借以决定是否启动虚拟量测。在此方法的建模阶段中，使用多组建模数据并根据至少一个分类演算法来建立至少一个分类模型，其中每一个分类模型包含多个决策树。然后，使用此些决策树的机率来建立至少一个信心指标模型；使用建模数据并根据一统计距离演算法来建立至少一个相似度模型。在此方法的推估阶段中，输入一工件的一组制程数据至每一个分类模型、每一个信心指标型和每一个相似度模型中，以即时并准确地决定是否启动虚拟量测，而避免使用者产生误判。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113761782 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202011561263.1
(22)申请日 2020.12.25
(30)优先权数据
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