一种氟化钇薄膜的制备方法.pdfVIP

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2023-07-03 发布于四川
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一种氟化钇薄膜的制备方法.pdf

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本发明公开了一种氟化钇薄膜的制备方法，步骤1：将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05‑1:3.75混合均匀；步骤2：将胶状物干燥得到胶态物质；步骤3：将胶态物质置于高温炉中；步骤4：胶态物质研磨得到粉末；步骤5：将粉末在惰性气体保护下得到纳米级粉末；步骤6：将纳米级粉末采取浸渍提拉法或旋转涂覆法制膜；步骤7：将湿膜烘干、冷得到薄膜；步骤8：将薄膜退火处理，随炉冷却后得到氟化钇薄膜。本发明氟化钇薄膜的制备方法与现有的技术相比，制备的氟化钇薄膜表面光滑，具有良好的超导特性，且薄膜制备成本低、工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113753938 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202010681953.4 (22)申请日 2020.07.15 (71)申请人英迪那米（徐州）半导体科技有限公