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本发明涉及一种含氟化合物、包含其的冷却剂及用途。所述冷却剂，包含本发明所述的含氟化合物，且所述冷却剂的沸程为120～140℃，适合于半导体最高制程温度在70～90℃的制程单元。本申请提供的含氟化合物倾点和沸点合适，流动性、导热系数和比热都适合用作半导体制程的冷却剂成分，且温室效应潜能值和臭氧破坏潜能值较低，对环境破坏小。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113773176 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111157519.7
(22)申请日 2021.09.30
(71)申请人 深圳
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