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本申请适用于太阳能电池技术领域,提供了一种PECVD设备的清理方法。PECVD设备的清理方法包括:将遮挡片放置在PECVD设备的载板,载板包括承载区和非承载区,承载区用于承载硅片,承载区被遮挡片覆盖,非承载区未被遮挡片覆盖;将放置了遮挡片的载板放入PECVD设备的工艺腔;对工艺腔的腔壁和载板进行清理,以去除腔壁和非承载区的非晶硅膜。本申请实施例的PECVD设备的清理方法,由于在载板的承载区放置了遮挡片,故在对载板和工艺腔的腔壁的非晶硅膜进行清理时,不会清理到载板的承载区,使得清理后残留的杂质避开
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113770122 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111069510.0
(22)申请日 2021.09.13
(71)申请人 浙江爱旭太阳能科技有限公司
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