感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法.pdf

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本发明提供一种能够形成LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。还提供一种使用了感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含酸分解性树脂及通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物，通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物包含1种以上的选自由化合物(I)～(III)组成的组中的化合物，选自由上述化合物(I)～(III)组成的组中的化合物的含量相对于组合物中的总固体成分超过20.0质

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113795790 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202080033770.X (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任