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本发明实施例提供了一种杂质扩散方法和太阳能电池制造方法，其中所述杂质扩散方法包括：在待处理基板上形成第一扩散源层，所述第一扩散源层富含受主或施主杂质元素，且所述第一扩散源层中氧和氮的原子浓度比之和小于10at％；在所述第一扩散源层上形成第二扩散源层，所述第二扩散源层富含氧元素和/或氮元素；对所述待处理基板进行退火处理，使得所述第一扩散源层中的所述受主或施主杂质元素扩散入所述待处理基板，并且使得所述第二扩散源中的氧元素和/或氮元素扩散入所述第一扩散源层。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113782423 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110984658.0 CN 110896116 A,2020.03.20
(22)申请日
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