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本发明公开了一种电极结构的制造装置及其制造方法、触控面板,该电极结构的制造方法包括在一导电基材上形成一感光材料层,采用第一掩膜版曝光感光材料层,更换第二掩膜版曝光经第一掩膜版曝光后的感光材料层,其中,第一掩膜版和第二掩膜版的遮光方向不同,处理感光材料层和导电基材,以形成电极结构。本发明技术方案通过第一掩膜版和第二掩膜版两次曝光,可以在感光材料层上叠加形成包含有尖角的图案,对应地,在对感光材料层和导电基材处理后,可以得到包含有尖角的电极结构,避免了电极结构上形成圆角,从而提高电极结构的透光率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113791702 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202110922134.9
(22)申请日 2021.08.11
(71)申请人 深圳市志凌伟业光电有限公司
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