外延设备的反应工况调节方法、装置、系统及电子设备.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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外延设备的反应工况调节方法、装置、系统及电子设备.pdf

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本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延设备的反应工况调节方法、装置、系统及电子设备，其中，所述方法包括以下步骤：实时获取所述外延设备的反应室的尾气浓度信息；根据所述尾气浓度信息调节所述反应室内的温度和/或所述反应室内反应气体的流量；该方法实时获取的尾气浓度信息能反映出反应室内晶体生长情况，该方法根据实时获取的尾气浓度信息调节温度和/或反应气体的流量能改变反应工况，能及时地进行反应室内反应工况的动态反馈调节，以使反应室内的晶体生长情况满足预期需求。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113774478 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202111088462.X (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人季华实验室地址 5

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